半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法

Test method for carbon acceptor concentration in semi-insulating gallium arsenide single crystals by infrared absorption spectroscopy

GB/T 19199-2015现行国家标准

标准状态

发布于：2015-12-10

实施于：2016-07-01

废止

标准号GB/T 19199-2015

标准状态现行

发布日期2015-12-10

实施日期2016-07-01

中国标准分类号H17 半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号77.040 金属材料试验

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

代替标准GB/T 19199-2003

起草单位信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子材料行业协会、天津市环欧半导体材料技术有限公司

起草人何秀坤、李静、张雪囡

本标准规定了半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法。本标准适用于电阻率大于10^6Ω·cm 的非掺杂和碳掺杂半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的测定。测量范围:室温下从 1.0×10^15 atoms/cm3 到代位碳原子的最大溶解度,77 K 时检测下限为4.0×10^14atoms/cm3。