电子级水中微粒的仪器测试方法
Test method for particles in electronic grade water by instrument
标准状态
发布于：1997-09-01
实施于：1998-09-01
已废止
基本信息
GB/T 11446.9-1997
已废止
1997-09-01
1998-09-01
工业和信息化部（电子）
工业和信息化部（电子）
中国科学院半导体研究所
标准简介
本标准规定了电子级水中微粒的仪器测定法。 本标准适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数，测定的粒径大于或等于0.5μm，微粒的浓度为（0～10 000）个/mL.
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