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等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟

Graphite boat for plasma enhanced chemical vapor deposition equipment

T/ZJCX 0043-2024现行团体标准

标准状态

发布于:2024-07-23
实施于:2024-07-24
废止

基本信息

T/ZJCX 0043-2024
现行
2024-07-23
2024-07-24
Q51 石墨材料
29.045 半导体材料
浙江省企业技术创新协会
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内容预览

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