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溅射离子泵型式与基本参数

JB/T 4081-1991已废止行业标准

标准状态

发布于：1991-07-22

实施于：1992-07-01

已废止

基本信息

标准号JB/T 4081-1991

标准状态已废止

发布日期1991-07-22

实施日期1992-07-01

中国标准分类号J71 泵

国际标准分类号23 流体系统和通用件

发布部门机械电子工业部

标准简介

本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射子泵。

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JB/T 4081-1991 标准预览

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