半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials
标准状态
发布于：1984-03-28
实施于：1985-03-01
已废止
基本信息
标准简介
本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质元素和非金属杂质元素含量的测定。
内容预览
The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials
本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质元素和非金属杂质元素含量的测定。