碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers
标准状态
发布于：2014-12-31
实施于：2015-09-01
已废止
基本信息
GB/T 31351-2014
已废止
2014-12-31
2015-09-01
国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所
陈小龙、郑红军、刘振洲、张玮、郭钰
标准简介
本标准规定了4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片的微管密度的无损检测方法。 本标准适用于4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片经单面抛光或双面抛光后、微管的径向尺寸在一微米至几十微米范围内的微管密度的测量。
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