硅多晶真空区熔基硼检验方法
Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method
标准状态
发布于：2018-09-17
实施于：2019-06-01
废止
基本信息
GB/T 4060-2018
现行
2018-09-17
2019-06-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
GB/T 4060-2007
江苏中能硅业科技发展有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业（青海）有限公司、峨嵋半导体材料研究所
胡伟、刘晓霞、王桃霞、胡自强、万烨、杨旭、耿全荣、鲁文锋、宗冰、肖建忠
标准简介
本标准规定了多晶硅中基硼含量的测试方法。 本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定。基硼含量（原子数）测定范围为 0.01X1018cm-3~5X1015cm-3。
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