300mm 硅单晶

300mm monocrystalline silicon

GB/T 29504-2013现行国家标准

标准状态

发布于：2013-05-09

实施于：2014-02-01

废止

标准号GB/T 29504-2013

标准状态现行

发布日期2013-05-09

实施日期2014-02-01

中国标准分类号H82 元素半导体材料

国际标准分类号29.045 半导体材料

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位有研半导体材料股份有限公司、万向硅峰电子股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所、宁波立立电子股份有限公司

起草人闫志瑞、孙燕、楼春兰、卢立延、张果虎

本标准规定了直径300mm、p型、(100)晶向、电阻率0.5Ω·cm～20Ω·cmm硅单晶的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于由直拉法制备的硅单晶,主要用于制作满足集成电路IC用线宽0.13μm及以下技术需求的300 mm硅单晶抛光片。