微波ECR等离子体发生器校准规范

Calibration Specification for Microwave ECR Plasma Generator

T/BEA 40002-2022现行团体标准

标准状态

发布于：2022-01-18

实施于：2022-02-09

废止

标准号T/BEA 40002-2022

标准状态现行

发布日期2022-01-18

实施日期2022-02-09

国际标准分类号01.020 术语学（原则和协调配合）

发布部门北京电子仪器行业协会

团体名称北京电子仪器行业协会

起草单位北京东方计量测试研究所

起草人贾军伟、邓星亮、柴昊、刘民、武宇婧

本规范规定了微波 ECR 等离子体发生器的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和修理后的微波ECR等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。