硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

Test method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques

GB/T 1554-1995已废止国家标准

标准状态

发布于：1995-04-18

实施于：1995-12-01

已废止

标准号GB/T 1554-1995

标准状态已废止

发布日期1995-04-18

实施日期1995-12-01

中国标准分类号H26 金属无损检验方法

主管部门国家标准化管理委员会

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位峨嵋半导体材料厂