微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
Micro-electromechanical system technology—The reliability test methods of MEMS in integrated environments
标准状态
发布于：2019-12-31
实施于：2020-04-01
废止
基本信息
GB/T 38341-2019
现行
2019-12-31
2020-04-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
东南大学、佛山市川东磁电股份有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、无锡华润上华科技有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司、华为技术有限公司、中机生产力促进中心、沈阳国仪检测技术有限公司、北京大学、中国科学院电子学研究所
王磊、黄创君、朱悦、夏长奉、石云波、李海斌、张威、程逸轩、于振毅、陆学贵、黄庆安、龙克文、肖昆辉、郑凤杰、马书嫏、陈得民
标准简介
本标准规定了MEMS器件可靠性综合环境的试验方法和失效结果处理。 本标准适用于需要进行可靠性试验的MEMS器件。
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