真空蒸发镀膜设备

JB/T 6922-2004已废止行业标准

标准状态

发布于：2004-10-20

实施于：2005-04-01

已废止

标准号JB/T 6922-2004

标准状态已废止

发布日期2004-10-20

实施日期2005-04-01

中国标准分类号J78 真空技术与设备

国际标准分类号23.160 真空技术

发布部门国家发展和改革委员会

技术归口全国真空技术标准化技术委员会

代替标准JB/T 6922-1993

起草单位北京北仪创新真空技术有限公司、沈阳真空技术研究所

起草人周毅、陈月增

本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型式和基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标增、包装、运输、贮存等要求。本标准适用于极限压力在5×10^(-4)pa～5×10^(-3)Pa范围的真空蒸发镀膜设备。