半导体设备用碳化硅陶瓷零部件

Silicon carbide ceramic components for semiconductor equipment

T/CI 961-2025现行团体标准

标准状态

发布于：2025-04-15

实施于：2025-04-15

废止

标准号T/CI 961-2025

标准状态现行

发布日期2025-04-15

实施日期2025-04-15

国际标准分类号81.060.30 高级陶瓷

发布部门中国国际科技促进会

团体名称中国国际科技促进会

起草单位宁波伏尔肯科技股份有限公司、山田新材料集团有限公司、绍兴晶彩科技有限公司、广西三元华鑫特种陶瓷有限公司、江苏晶孚新材料科技有限公司。

起草人徐斌、徐勤龙、李季、陈诚、宋宝山、沈赟、马坤、罗统斌、薛振坤、袁洪峰。

本文件规定了半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的术语和定义、产品结构和分类、生产工艺、技术要求、试验方法、检验规则和应用。本文件适用于半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的生产制造和应用。