砷化镓单晶AB微缺陷检验方法
The inspecting method of AB microscopic defect in gallium arsenide single crystal
标准状态
发布于:2000-04-03
实施于:2000-09-01
废止
基本信息
标准简介
本标准规定了砷化镓单晶AB微缺陷的检验方法。 本标准适用于砷化镓单晶AB微缺陷密度(AB-EPD)的检验。检验面为(100)面。测量范围小于 5 X10 cm
The inspecting method of AB microscopic defect in gallium arsenide single crystal
本标准规定了砷化镓单晶AB微缺陷的检验方法。 本标准适用于砷化镓单晶AB微缺陷密度(AB-EPD)的检验。检验面为(100)面。测量范围小于 5 X10 cm