钛蒸发料

标准状态

基本信息

标准简介

本标准规定了钛蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同（或订货单）内容。 本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。

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