电子级混合气体配制技术要求

Technical requirements for preparation of electronic gases mixture

T/CCGA 30009-2025现行团体标准

标准状态

发布于：2025-04-25

实施于：2025-05-25

废止

标准号T/CCGA 30009-2025

标准状态现行

发布日期2025-04-25

实施日期2025-05-25

国际标准分类号71.100.20 工业气体

发布部门中国工业气体工业协会

团体名称中国工业气体工业协会

起草单位北京首钢气体有限公司、中国工业气体工业协会、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、中国电子气体及材料百人会

起草人马银川、李晓、洑春干、王林章、柳彤、张净普、杨金山、鲍光强、杜卫东、吴国忠

本文件规定了电子级混合气体的配制或制备的基本要求、设备设施要求、技术要求、配制要求，标志、包装及使用要求。本文件适用于电子级混合气体的配制或制备。