镍铂靶材
标准状态
发布于：2013-10-17
实施于：2014-03-01
已废止
基本信息
YS/T 937-2013
已废止
2013-10-17
2014-03-01
工业和信息化部
全国有色金属标准化技术委员会
有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院等
朱晓光、顾新福 等
标准简介
本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。
内容预览
本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。