电子级正硅酸乙酯
Electronic grade ethyl orthosilicate
标准状态
发布于：2024-04-25
实施于：2024-11-01
废止
基本信息
GB/T 43965-2024
现行
2024-04-25
2024-11-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
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标准简介
本文件规定了半导体行业用电子级正硅酸乙酉旨的技术要求、检验规则、型式试验、标志、包装、运输及贮存的要求，描述了试验方法、分析方法与测定结果评价。 本文件适用于沉积二氧化硅的电子级正硅酸乙酯。
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