含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
Information model for containing process chamber IC equipment design
标准状态
发布于：2019-08-30
实施于：2020-03-01
废止
基本信息
GB/T 37959-2019
现行
2019-08-30
2020-03-01
中国机械工业联合会
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
中国机械工业联合会
中车信息技术有限公司、北京机械工业自动化研究所有限公司、清华大学、中国石油规划总院
顾明、程嘉、陈莉、曹自立、王海丹、王峰、李丽、季林红、张颖、黎晓东
标准简介
本标准规定了含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台信息模型，规定了搭建含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台的一般性要求。 本标准适用于含工艺腔室类集成电路装备的建模仿真设计软件。
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