电子工业用气体三氟化硼

Gases for electronic industry - Boron trifluoride

GB/T 14603-2009已废止国家标准

标准状态

发布于：2009-10-30

实施于：2010-05-01

已废止

标准号GB/T 14603-2009

标准状态已废止

发布日期2009-10-30

实施日期2010-05-01

中国标准分类号G86 工业气体与化学气体

国际标准分类号71.100.20 工业气体

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

代替标准GB/T 14603-1993

起草单位核工业理化工程研究院、西南化工研究设计院、大连光明化工研究院

起草人邓建平、倪志强、孙福楠、周鹏云

本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。本标准适用于以氟气和硼单质为原料，采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼；和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。