多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定电感耦合等离子体质谱法

DB53/T 501-2013已废止地方标准

标准状态

发布于：2013-08-01

实施于：2013-10-01

已废止

标准号DB53/T 501-2013

标准状态已废止

发布日期2013-08-01

实施日期2013-10-01

中国标准分类号G10 无机化工原料综合

国际标准分类号71.040.40 化学分析

发布部门云南省质量技术监督局

技术归口云南省质量技术监督局

提出单位云南省质量技术监督局

起草单位昆明冶研新材料股份有限公司

起草人赵建为、张云晖、于艳敏、金波、亢若谷、马启坤、杨晓静、田琦、李晓华、韩小月

本标准规定了电感耦合等离子体质谱法测定多晶硅用三氯氢硅中硼、铁、铝、钙、铜、铬、镍、锑、钴、锌、锡、钛、锰杂质元素含量的方法。本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中硼、铁、铝、钙、铜、铬、镍、锑、钴、锌、锡、钛、锰杂质元素含量的测定。