俄歇电子能谱分析方法通则

General rules for Auger electron spectroscopic analysis

GB/T 26533-2011现行国家标准

标准状态

发布于：2011-05-12

实施于：2011-12-01

废止

标准号GB/T 26533-2011

标准状态现行

发布日期2011-05-12

实施日期2011-12-01

中国标准分类号N33 电子光学与其他物理光学仪器

国际标准分类号17.180 光学和光学测量

主管部门中国科学院

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口中国科学院

起草单位清华大学

起草人姚文清、李展平、曹立礼、朱永法

本标准规定了以电子束为激发源的俄歇电子能谱(AES,AugerElectronSpectroscopy)的一般表面分析方法。本标准适用于俄歇电子能谱仪。