蓝宝石单晶抛光衬底片
Polished monocrystalline sapphire substrates
标准状态
发布于：1992-12-28
实施于：1993-08-01
已废止
基本信息
标准简介
本标准规定了生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则。 本标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。
内容预览
Polished monocrystalline sapphire substrates
本标准规定了生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则。 本标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。