纳米技术 碳纳米管探针扫描显微术 大深宽比微纳结构测量
Nanotechnology—Carbon nanotube probe scanning microscopy—Measurement of high aspect ratio micro-nano structures
标准状态
发布于：2026-08-28
实施于：2027-03-01
废止
基本信息
GB/T 48076-2026
即将实施
2026-08-28
2027-03-01
中国科学院
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
中国科学院
中国科学院
西安交通大学、中国计量科学研究院、探真纳米科技（衢州）有限公司
杨树明、张国锋、吉培瑞、李适、李伟、崔波、贾宪生
标准简介
本文件描述了利用碳纳米管探针测量大深宽比微纳结构的方法，包括基本原理、测试条件和所需设备等，规定了碳纳米管探针的参数范围和对样品的要求，确立了测量步骤。 本文件适用于硬质样品，且深宽比范围在1~10，最小水平线宽不小于碳纳米管直径2倍的微纳结构测量，其他样品的测量参照使用。
内容预览
