金靶材
Gold target
标准状态
发布于：2009-04-15
实施于：2010-02-01
已废止
基本信息
GB/T 23611-2009
已废止
2009-04-15
2010-02-01
中国有色金属工业协会
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国有色金属工业协会
有研亿金新材料股份有限公司、北京达博有色金属焊料有限责任公司
闫琳、江轩、吕保国
标准简介
本标准规定了金靶材要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单(或合同)内容。 本标准适用于制造半导体电子器件用的各类金溅射靶材(以下简称金靶材)。
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