表面化学分析 X射线光电子能谱薄膜分析结果的报告

Surface chemical analysis—X-ray photoelectron spectroscopy—Reporting of results of thin-film analysis

GB/T 36401-2018现行国家标准

标准状态

发布于：2018-06-07

实施于：2019-05-01

废止

标准号GB/T 36401-2018

标准状态现行

发布日期2018-06-07

实施日期2019-05-01

中国标准分类号G04 基础标准与通用方法

国际标准分类号71.040.40 化学分析

主管部门中国科学院

发布部门国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口中国科学院

起草单位厦门荷清教育咨询有限公司、清华大学化学系

起草人汤丁亮、李展平、刘芬、王水菊、岑丹霞、姚文清

本标准给出了采用XPS对基材上薄膜的分析报告所需的最少信息量要求的说明。这些分析涉及化学组成和均匀薄膜厚度的测量，以及采用变角XPS、XPS溅射深度剖析、峰形分析和可变光子能量XPS的方式对非均匀薄膜作为深度函数的化学组成的测量。