硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法

Test method for substitutional atomic carbon content of silicon by infrared absorption

GB/T 1558-1997已废止国家标准

标准状态

发布于：1997-12-22

实施于：1998-08-01

已废止

标准号GB/T 1558-1997

标准状态已废止

发布日期1997-12-22

实施日期1998-08-01

中国标准分类号H21 金属物理性能试验方法

国际标准分类号29.045 半导体材料

主管部门国家标准化管理委员会

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位峨嵋半导体材料厂