硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
Determination of carbon and oxygen content in single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry method
标准状态
发布于：2023-08-06
实施于：2024-03-01
废止
基本信息
GB/T 35306-2023
现行
2023-08-06
2024-03-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
GB/T 35306-2017
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
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标准简介
本文件描述了采用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧含量的方法。 本文件适用于室温电阻率大于1Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于3Ω·cm的p型硅单晶中代位碳、间隙氧含量的测定，测定范围（以原子数计）为2.5×1014cm-31.5×1017cm-3。
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