利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using si (111) monatomic steps
标准状态
发布于：2011-12-30
实施于：2012-05-01
废止
基本信息
GB/T 27760-2011
现行
2011-12-30
2012-05-01
中国科学院
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国科学院
国家纳米科学中心
朱晓阳、杨延莲、贺蒙、高洁
标准简介
本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。 本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜,并且其z 向放大倍率达到最大量级,即z向位移在纳米和亚纳米范围内,这是原子力显微镜用于检测半导体表面,光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。 本标准并未指出所有可能的安全问题,在应用本标准之前,使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。
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