电子工业用气体砷化氢

Gases for electronic industry - Arsine

GB/T 26250-2010已废止国家标准

标准状态

发布于：2011-01-14

实施于：2011-05-01

已废止

标准号GB/T 26250-2010

标准状态已废止

发布日期2011-01-14

实施日期2011-05-01

中国标准分类号G86 工业气体与化学气体

国际标准分类号71.100.20 工业气体

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位西南化工研究设计院、光明化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司

起草人孙福楠、方华、周鹏云、庄鸿涛

本标准规定了砷化氢的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。分子式：AsH3。相对分子质量：77．945 42(按2007年国际相对原子质量计算)。