电力半导体器件工艺用涂层石英玻璃管
标准状态
发布于：1996-04-11
实施于：1996-10-01
废止
基本信息
标准简介
本标准规定了电力半导体器件工艺用途层石英玻璃管的结构、规格尺寸、技术要求、检验方法和规则等。 本标准适用于由天然水晶作原料、并在管壁表面制成耐高温薄层、用于电力半导体器件工艺的石英玻璃管。
内容预览
本标准规定了电力半导体器件工艺用途层石英玻璃管的结构、规格尺寸、技术要求、检验方法和规则等。 本标准适用于由天然水晶作原料、并在管壁表面制成耐高温薄层、用于电力半导体器件工艺的石英玻璃管。