气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气组分含量

DB53/T 618-2014已废止地方标准

标准状态

发布于：2014-08-28

实施于：2014-12-01

已废止

标准号DB53/T 618-2014

标准状态已废止

发布日期2014-08-28

实施日期2014-12-01

中国标准分类号G10 无机化工原料综合

国际标准分类号71.040.40 化学分析

发布部门云南省质量技术监督局

技术归口云南省检验检测标准化技术委员会

提出单位昆明冶研新材料股份有限公司

起草单位昆明冶研新材料股份有限公司

起草人张云晖、金波、亢若谷、白荣林、马启坤、徐远志、徐灵通、赵建为、杨红燕、于晓艳、左世芳、陶明、赵祖乔

本标准规定了气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气组分含量测定的方法提要、试剂与材料、仪器及装置、分析步骤、结果计算、精密度、试验报告。本标准适用于氢化尾气中氢气(H2)、氯化氢(HCl)、二氯二氢硅(SiH2Cl2)、三氯氢硅(SiHCl3)和四氯化硅(SiCl4)含量的测定。