电子级多晶硅

Electronic-grade polycrystalline silicon

GB/T 12963-2014已废止国家标准

标准状态

发布于：2014-12-31

实施于：2015-09-01

已废止

标准号GB/T 12963-2014

标准状态已废止

发布日期2014-12-31

实施日期2015-09-01

中国标准分类号H82 元素半导体材料

国际标准分类号29.045 半导体材料

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

代替标准GB/T 12963-2009

起草单位峨嵋半导体材料研究所、有研半导体材料股份有限公司、新特能源股份有限公司、四川新光硅业科技有限责任公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、洛阳中硅高科技有限公司

起草人詹科、杨旭、梁洪、孙燕、种娜、黎亚文、刘晓霞

本标准规定了多晶硅的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、储存、质量证明书和订货单（或合同）内容。本标准适用于以氯硅烷、硅烷制得的多晶硅。