单晶硅生长用石英坩埚
标准状态
发布于：2018-10-22
实施于：2019-04-01
废止
基本信息
标准简介
本标准规定了单晶硅生长用石英坩埚（以下简称石英坩埚）的术语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于用高纯石英砂做原料，采用电弧法工艺生产，应用于直拉法生长单晶硅材料的石英坩埚。
内容预览
本标准规定了单晶硅生长用石英坩埚（以下简称石英坩埚）的术语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于用高纯石英砂做原料，采用电弧法工艺生产，应用于直拉法生长单晶硅材料的石英坩埚。