砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法

Gallium arsenide epitaxial layer - determination of carrier concentration voltage-capacitance method

GB/T 11068-2006现行国家标准

标准状态

发布于：2006-07-18

实施于：2006-11-01

废止

标准号GB/T 11068-2006

标准状态现行

发布日期2006-07-18

实施日期2006-11-01

中国标准分类号H17 半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号77.040.01 金属材料试验综合

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

代替标准GB/T 11068-1989

起草单位北京有色金属研究总院

起草人王彤涵

本标准规定了砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法，适用于砷化镓外延层基体材料中载流子浓度的测量。测量范围：1×10cm～5×10cm。