热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography

GB/T 24577-2009现行国家标准

标准状态

发布于：2009-10-30

实施于：2010-06-01

废止

标准号GB/T 24577-2009

标准状态现行

发布日期2009-10-30

实施日期2010-06-01

中国标准分类号H80 半金属与半导体材料综合

国际标准分类号29.045 半导体材料

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所

起草人王奕、褚连青、李静

本标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法,采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。