半导体设备制造信息标识要求

SJ/T 11762-2020现行行业标准

标准状态

发布于：2020-12-09

实施于：2021-04-01

废止

标准号SJ/T 11762-2020

标准状态现行

发布日期2020-12-09

实施日期2021-04-01

中国标准分类号L95 电子工业生产设备综合

国际标准分类号31.55

发布部门工业和信息化部

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位中国电子技术标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司等

起草人冯亚彬、程朝阳、钟华等

适用于半导体设备制造信息标识