电子工业用氟化氢中杂质的测定色谱法

DB13/T 5874-2023已废止地方标准

标准状态

发布于：2023-10-25

实施于：2023-11-25

已废止

标准号DB13/T 5874-2023

标准状态已废止

发布日期2023-10-25

实施日期2023-11-25

中国标准分类号L85 电子测量与仪器综合

国际标准分类号17.080 时间、速度、加速度、角速度的测量

发布部门河北省市场监督管理局

技术归口邯郸市市场监督管理局

提出单位邯郸市市场监督管理局

起草单位中船（邯郸）派瑞特种气体有限公司

起草人殷越玲、郑秋艳、柳彤、李帅楠、崔雯、刘海芳、袁攀攀

本文件规定了电子工业用氟化氢中杂质的测定原理、试剂或材料、仪器设备、样品、测定步骤及结果处理等。本文件适用于电子工业用氟化氢中氢气、氧气+氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳的测定。氢气、氧气+氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量测定的检出限不大于0.01×10-6（体积分数）。