碳化硅单晶抛光片

Polished monocrystalline silicon carbide wafers

GB/T 30656-2014已废止国家标准

标准状态

发布于：2014-12-31

实施于：2015-09-01

已废止

标准号GB/T 30656-2014

标准状态已废止

发布日期2014-12-31

实施日期2015-09-01

中国标准分类号H83 化合物半导体材料

国际标准分类号29.045 半导体材料

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所

起草人陈小龙、郑红军、刘春俊、刘振洲、张玮、郭钰

本标准规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书及订货单（或合同）内容。本标准适用于4H及6H碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅单晶抛光片。产品主要用于制作半导体照明及电力电子器件的外延衬底。