晶片通用网格规范

标准状态

基本信息

标准简介

本标准规定了可用于定量描述公称圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形。网格规定包含1000个面积近似相等的网格单元，每个网格单元相当于受检表面固定优质区总面积的0.1％。根据晶片表面上有缺陷的面积百分比（或有效的面积百分比），可定量其非均匀分布的表面缺陷（例如，滑移）。把透明的网格覆盖到晶片缺陷图形上或把被观测的晶片缺陷图形映到网格上，定量有缺陷的面积，计算含有缺陷的网格单元的数量。该单元数除以10相当于有缺陷面积的百分比。也可将该网格叠加在CRT显示器、照片或计算机绘制的图上。使用时，网格的直径必须与所覆盖的

内容预览