半导体用透明石英玻璃器件
标准状态
发布于：2011-12-20
实施于：2012-07-01
已废止
基本信息
JC/T 181-2011
已废止
2011-12-20
2012-07-01
工业和信息化部
全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
JC/T 181-1981 (1996)
中国建筑材料检验认证中心、中国建筑材料科学研究总院
吴洁、杨小会 等
标准简介
本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。其它用途的透明石英玻璃器件可参照本标准。
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