硅-蓝宝石外延片
Silicon on sapphire epitaxial wafers
标准状态
发布于：1992-12-28
实施于：1993-08-01
废止
基本信息
标准简介
本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。 本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。
内容预览
Silicon on sapphire epitaxial wafers
本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。 本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。