蓝宝石衬底片翘曲度测试方法
Test methods for warp of sapphire substrates
标准状态
发布于：2014-12-31
实施于：2015-09-01
废止
基本信息
GB/T 31352-2014
现行
2014-12-31
2015-09-01
国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所
薛抗美、魏明德、林清香、肖宗杰、黄修康、杭寅
标准简介
本标准规定了蓝宝石切割片、研磨片、抛光片（以下简称蓝宝石衬底片）翘曲度的测试方法。 本标准适用于直径50.8mm～304.8mm，厚度为不小于200μm的蓝宝石衬底片翘曲度的测试。
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