MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法
Test methods of the performances for MEMS piezoresistive pressure-sensitive device
标准状态
发布于：2023-05-23
实施于：2023-09-01
废止
基本信息
GB/T 42191-2023
现行
2023-05-23
2023-09-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
全国微机电技术标准化技术委员会
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张威、顾枫、李宋、张亚婷、林瑞梅、李树成、王鹏、李晓波、陈路、高峰、陈君杰、王冰、李根梓、陈广忠、张良、陈立国、茅曙、张宾、许宙、王玮冰、明志茂、曹万
标准简介
本文件描述了 MEMS 压阻式压力敏感器件试验条件和试验方法。 本文件适用于 MEMS 压阻式压力敏感器件。
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