用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程

Practice for evaluation of granular polysilicon by melter-zoner and spectroscopies

GB/T 35309-2017现行国家标准

标准状态

发布于：2017-12-29

实施于：2018-07-01

废止

标准号GB/T 35309-2017

标准状态现行

发布日期2017-12-29

实施日期2018-07-01

中国标准分类号H17 半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号77.040 金属材料试验

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位江苏中能硅业科技发展有限公司、天津市环欧半导体材料技术有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、新特能源股份有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司

起草人王桃霞、刘晓霞、柳德发、胡伟、由佰玲、秦榕、耿全荣、鲁文锋、邱艳梅、银波、严大洲

本标准规定了用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的代位碳原子浓度、施主杂质浓度和受主杂质浓度的方法。本标准适用于尺寸为600μm~3000μm的颗粒状多晶硅，其他尺寸的颗粒状多晶硅可参照本标准执行。