电子工业用气体硅烷(SiH4)

Gas for electronic industry - Silane

GB/T 15909-2009已废止国家标准

标准状态

发布于：2009-10-30

实施于：2010-05-01

已废止

标准号GB/T 15909-2009

标准状态已废止

发布日期2009-10-30

实施日期2010-05-01

中国标准分类号G86 工业气体与化学气体

国际标准分类号71.100.20 工业气体

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

代替标准GB/T 15909-1995

起草单位浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院

起草人余京松、周鹏云

本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。。本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。