金砷蒸发料

YS/T 954-2014现行行业标准

标准状态

发布于：2014-10-14

实施于：2015-04-01

废止

标准号YS/T 954-2014

标准状态现行

发布日期2014-10-14

实施日期2015-04-01

中国标准分类号H68 贵金属及其合金

国际标准分类号77.120.99 其他有色金属及其合金

发布部门工业和信息化部

技术归口全国有色金属标准化技术委员会

起草单位北京达博有色金属焊料有限责任公司、有色金属技术经济研究院

起草人陈彪、向磊等

本标准规定了金砷蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同(或订货单)等内容。本标准主要适用于半导体芯片制造背金时用的金砷蒸发料。