微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS
标准状态
发布于：2023-08-06
实施于：2023-12-01
废止
基本信息
GB/T 42897-2023
现行
2023-08-06
2023-12-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
全国微机电技术标准化技术委员会
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标准简介
本文件描述了硅基MEMS加工过程中所涉及的纳米厚度膜轴向抗拉强度原位试验的要求和试验方法。 本文件适用于采用微电子工艺制造的纳米厚度膜抗拉强度测试。
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