硅片抗弯强度测试方法
Test method for measuring flexure strength of silicon slices
标准状态
发布于：1995-07-12
实施于：1996-02-01
已废止
基本信息
GB/T 15615-1995
已废止
1995-07-12
1996-02-01
国家标准化管理委员会
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
中南工业大学
内容预览
Test method for measuring flexure strength of silicon slices