匀胶设备通用规范
标准状态
发布于：2022-10-20
实施于：2023-01-01
废止
基本信息
SJ/T 11183-2022
现行
2022-10-20
2023-01-01
31.55
工业和信息化部
全国半导体设备和材料标准化技术委员
SJ/T 11183-1998
全国半导体设备和材料标准化技术委员
沈阳芯源微电子设备有限公司、中国电子技术标准化研究院
宗润福、徐春旭、刘正伟、冯亚彬
标准简介
本文件规定了旋转式涂覆设备的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本文件适用于泛半导体微纳加工光刻工艺制程中的旋转式涂覆设备（以下简称设备）。
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